微機械元件和儀器新進展.doc
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微機械元件和儀器新進展,微機械元件和微機械儀器，適于大批量生產(chǎn)，具有成本低廉、性能優(yōu)良和體積微小及集成度高的特點，近十年來，研制、開發(fā)及市場擴大方面取得了巨大的進展，展現(xiàn)了美好的前景。
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微機械元件和微機械儀器，適于大批量生產(chǎn)，具有成本低廉、性能優(yōu)良和體積微小及集成度高的特點，近十年來，研制、開發(fā)及市場擴大方面取得了巨大的進展，展現(xiàn)了美好的前景。
