脈沖工藝在薄膜制備中的應 用.doc
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脈沖工藝在薄膜制備中的應 用,脈沖工藝在電弧離子鍍和磁控濺射中的應用。脈沖工藝為電弧離子鍍凈化大顆粒、增強膜基結合力、改善組織形貌、降低沉積溫度等起到了重要作用。電弧或濺射離子鍍高的離化率為脈沖工藝提供了最好的應用條件。最后，對脈沖工藝在薄膜制備中的應用前景進行了展望。
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脈沖工藝在電弧離子鍍和磁控濺射中的應用。脈沖工藝為電弧離子鍍凈
化大顆粒、增強膜基結合力、改善組織形貌、降低沉積溫度等起到了重要作用。電弧或濺射離子鍍
高的離化率為脈沖工藝提供了最好的應用條件。最后，對脈沖工藝在薄膜制備中的應用前景進行了
展望。
化大顆粒、增強膜基結合力、改善組織形貌、降低沉積溫度等起到了重要作用。電弧或濺射離子鍍
高的離化率為脈沖工藝提供了最好的應用條件。最后，對脈沖工藝在薄膜制備中的應用前景進行了
展望。
