測(cè)頭是坐標(biāo)測(cè)量機(jī)最關(guān)鍵的硬件之一。它的發(fā)展水平直接制約著坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度、使用性能、操作的自由化程度和測(cè)量效率。三坐標(biāo)測(cè)量頭可視為一種傳感器，它可以在三個(gè)方向上感受瞄準(zhǔn)信號(hào)和微小位移，以實(shí)現(xiàn)瞄準(zhǔn)和測(cè)微兩種功能。本文針對(duì)測(cè)頭系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和部分電路設(shè)計(jì)問(wèn)題，進(jìn)行了深入的研究。全文的主要研究工作如下：
闡述了三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的分類、測(cè)量頭的分類及其特點(diǎn)，介紹了傳感器的分類和特點(diǎn)。
提出了兩個(gè)改進(jìn)：一個(gè)是在結(jié)構(gòu)，另一個(gè)是在電路設(shè)計(jì)方面。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面，該測(cè)頭的三維運(yùn)動(dòng)彈片采用整體套裝的結(jié)構(gòu)，代替了以往采用的三層樓的雙片簧結(jié)構(gòu)，使得結(jié)構(gòu)緊湊，有效的減少了X，Y方向上阿貝誤差的影響，提高了精度。電路設(shè)計(jì)方面，測(cè)頭位移測(cè)量采用電感測(cè)量原理，并以同步A/D轉(zhuǎn)換電路代替了以前采用的傳統(tǒng)的檢波方法，從而減小了模擬電路的誤差，提高了測(cè)頭的分辨率